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Intelligente EMO-Schalter | EMEA

Wie können größere Schäden durch Schäden an EMO-Schaltern von Halbleiterfertigungsmaschinen vermieden werden?

In der Halbleiterfertigung besteht die größte Herausforderung darin, die Produktivität der Fabriken hoch und die Maschinen in Betrieb zu halten. Es gibt Prozesse, bei denen gefährliche Lösungsmittel und Chemikalien verwendet werden, und wenn die Stromversorgung der Maschinen aufgrund von Not-Aus-Schaltern unterbrochen wird, kann es zu gefährlichen Nebenbedingungen wie Gaslecks kommenGemäß den Sicherheitsstandards der SEMI, Branchenverband der Halbleiterindustrie, müssen EMO-Schalter installiert werden, um nur die Lastbereiche zu schließen, die gefährliche Bedingungen geschaffen haben, und die Bewegung anderer sicherheitsrelevanter Geräte nicht zu verhindern.

Die mechanische Struktur herkömmlicher EMO-Schalter birgt jedoch das Risiko, dass Stromkreise nicht unterbrochen werden, auch wenn die Schalter gedrückt werden, wenn sie durch übermäßige Stöße beschädigt worden sind.Bei einigen Herstellern von Halbleiterfertigungsmaschinen könnte es höchstwahrscheinlich erforderlich sein, die Sicherheit der Maschinen durch Minimierung solcher Risiken zu minimieren.
EMO-Schalter mit zuverlässigen Sicherheitsmechanismen zum sicheren Abschalten ausschließlich des Stromkreises, bei dem gefährliche Bedingungen vorliegen Die Möglichkeit, in einer Notsituation nur den Teil des Stromkreises zu unterbrechen, der gefährliche Bedingungen verursacht hat, ist für die Zuverlässigkeit von Halbleiterfertigungsmaschinen wesentlich. ür Hersteller von Halbleiterfertigungsmaschinen, die sicheren Maschinen konstruieren müssen, bietet IDEC die dritte Generation der EMO-Schalter an, die XW-Serie.

Die XW-Serie ist mit zwei Sicherheitsstrukturen ausgestattet: Umgekehrte Energiestruktur („Reverse Energy Structure“) und sichere Unterbrechungswirkung. durch übermäßige Kraft oder Stoß beschädigt werden oder sich der Kontaktblock aufgrund unsachgemäßer Installation von der Bedieneinheit löst, bleibt der Öffnerkontakt mechanisch geschlossen (Kontakte AUS), um den Stromkreis des Betriebsteils zu unterbrechen, der die gefährlichen Bedingungen verursacht hat.

So kann selbst bei einem Ausfall des EMO-Schalters der Problemkreis sicher abgeschaltet werden, wodurch sichergestellt wird, dass sich die Verluste in der Fabrik nicht ausbreitenFür die EMO-Schalter der XW-Serie gibt es ein vielfältiges Angebot an Schalterschutzvorrichtungen und Aufklebern. Es gibt auch viele Zubehörteile, die eine unabsichtliche Betätigung unter normalen Umständen verhindern.

Eine große Auswahl an Schaltern für flexible Gestaltung

Maschinen für die Halbleiterherstellung müssen nicht nur die Sicherheit gewährleisten, sondern auch der wachsenden Nachfrage nach Optimierung gerecht werden.

Für Hersteller von Halbleiterfertigungsmaschinen, die sich für eine weitere Optimierung entscheiden, bietet IDEC neben der o22mm XW-Serie auch die o16mm XA-Serie an. eide Serien bieten Tasten in verschiedenen Formen und Größen an und erfüllen die Wünsche von Konstrukteuren nach kleineren Maschinen und einfacher Verwendung. uch SEMI S2-konforme Schalterschutzvorrichtungen sind für verschiedene Zwecke erhältlich. DEC unterstützt Sie bei der Gewährleistung der Sicherheit, denn IDEC-Schalter und andere Produkte werden ständig aktualisiert, um den Änderungen der Normen/Standards wie ISO und SEMI zu entsprechen.

Reduzierung der Gesamtkosten mit einem kompakten Hochleistungs- Codereader

Bei herkömmlichem Design hatten die an den Ladeanschlüssen installierten Codeleser nur eine begrenzte Installationsflexibilität. Zusätzliche Teile zur Einstellung des Lesewinkels mussten angeschafft werden, und es war zudem sehr zeitaufwändig, das Gerät im richtigen Winkel einzustellen.
Ferner gab es viele Entwickler von Lastanschlüssen für die Halbleiterherstellung, die es für wichtig hielten, die Gesamtkosten einschließlich des Codereader zu senken.
DEC reagierte darauf mit der Einführung des 2D-Codescanners WB2F, der Codes zuverlässig in einem bestimmten Winkel lesen kann. Der nur 24 mm x 40 mm x 32 mm große, kompakte WB2F ist mit einem hochauflösenden 1,2-Megapixel-CMOS-Bildsensor ausgestattet, der kleine Symbole über einen großen Bereich erkennen kanEs kann leicht in kleine Geräte integriert werden.Neben der Autotuning-Funktion, welche die Gesamtanpassungszeit reduziert, ist dieses Modell auch mit einer Bildspeicherfunktion ausgestattet, die den Arbeitsaufwand bei Lesefehlern reduziert.
Dies ermöglicht eine hervorragende Rückverfolgbarkeit zu niedrigen Kosten.

deal für Anwendungen in der Halbleiterfertigung sowie in Lastanschlüssen
Der 2D-Codescanner WB2F ist in der Lage, Codes aus einer Entfernung von bis zu 150 mm zu lesen. Er ist außerdem mit verschiedenen Arten von Barcodes und 2D-Codes kompatibel.

Daher ist es möglich, Codes zu lesen, die an verschiedenen Orten installiert sind, und er kann in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden, wie z. B. bei FOUP-Gehäusen, die 300-mm-Wafer aufnehmen, Kassetten, die 200-mm-Wafer aufnehmen, und Waferrahmen, die Beschädigungen verhindern.