Intelligente Beseitigung statischer Elektrizität | EMEA

Die Beseitigung statischer Aufladung in der Halbleiterfertigung muss effizient und kostengünstig sein.

In Halbleiterproduktionsstätten wird unablässig Effizienz angestrebt, und es ist von entscheidender Bedeutung, Fehler und Defekte zu beseitigen, die durch die Zerstörung von Teilen und das Anhaften von Fremdmaterialien aufgrund statischer Elektrizität verursacht werden.

Obwohl leitfähige Matten und Ionisatoren in der Halbleiterfertigung herkömmlich zur Beseitigung statischer Elektrizität eingesetzt werden, variiert die Leistung leitfähiger Matten je nach Hersteller, und wenn die Matten nach j verlieren, treten Qualitäts- und Haltbarkeitsprobleme auf. ahrelangem Einsatz ihre Wirksamkeit.

Es gibt zusätzliche Herausforderungen hinsichtlich der Effizienz und der Wartungskosten, wie z. B. die je nach Ionisatortyp kurze Funktionsreichweite zur Beseitigung statischer Aufladung, die Verwendung eines Antistatikfilters, der die Geschwindigkeit der Beseitigung statischer Aufladung verringert, und die Verstopfung des Filters, die eine Wartung erforderlich macht.

Wenn Sie in der Halbleiterfertigung konsequent nach Effizienz streben, sind Maßnahmen wichtig, die eine hocheffiziente Entladung der statischen Aufladung an den Fertigungsstandorten gewährleisten und über einen langen Zeitraum hinweg keiner Wartung bedürfen. Da die Halbleiterhersteller jedoch nicht in der Lage sind, endgültige Gegenmaßnahmen zu finden, bleiben sie wahrscheinlich auf endlosen Versuchen und Fehlern sitzen. Neuer hocheffizienter, wartungsarmer Ionisator Diese Maßnahme bietet zuverlässige Entladung, geringen Wartungsaufwand und niedrige Kosten, wie sie von Halbleiterherstellern gefordert werden. IDEC empfiehlt das wartungsarme Hochgeschwindigkeits-Antistatikgebläse SC1P als optimale Maßnahme zur Beseitigung statischer Aufladungen in der Halbleiterfertigung. SC1P kombiniert mehrere ionenerzeugende Geräte und stößt gleichmäßig hochkonzentrierte Ionen aus, so dass die Ionen das Zielobjekt der statischen Entladung sicher erreichen können, auch wenn es sich in einiger Entfernung befindet, was hocheffiziente statische Entladung ermöglicht. Die Struktur verhindert selbst bei der Verwendung eines Anti-Staub-Filters ein Verstopfen, und die statische Abscheideleistung nimmt kaum ab, wenn ein Filter installiert ist. Die Leistung lässt auch dann nicht nach, wenn lange Zeiträume zwischen der Reinigung oder dem Austausch der Elektroden liegen, und weitere wartungsarme Merkmale reduzieren unnötige Arbeit und Kosten.
Das antistatische Gebläse verfügt über perfekte Spezifikationen für Halbleiterproduktionsstätten. Das gilt sowohl für effiziente Beseitigung statischer Aufladung und Wartung als auch im Hinblick auf die Wartungskosten. Sprechen Sie mit IDEC über das Layout und andere Merkmale, die zu Ihrer Linie passen. Ihr Lösungsanbieter IDEC unterstützt Sie bei der Lösung von Problemen, mit denen Produktionsstätten in verschiedenen Branchen konfrontiert sind. Wir beraten Sie gerne in allen Fragen, von Maßnahmen gegen statische Elektrizität in Produktionsstätten, die mit Präzisionsgeräten arbeiten, über Maßnahmen zur Produktivitätssteigerung und Arbeitszeitverkürzung bis hin zu unterschiedlichsten Sicherheitsmaßnahmen.